微位移定位系统在磁盘光刻伺服图形中的应用

本文叙述了应用微位移定位系统实现磁盘光刻伺服图形的精确定位，有效地提高磁盘存储器的道密度，这种方法将成为开发新一代大容量磁盘存储技术。