Ⅲ-Ⅴ族化合物与CMOS：逻辑的选择？

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摘要如果你想了解SiCMOS工艺的将来，那么IEDM（国际电子器件会议）是值得一去的“地方”。IEDM每年12月份交替在华盛顿和旧金山举行，已有50多年的历史了。一些关键性的半导体工艺常常在该会议上“出现”。2007年会议的与会者又在共同关注微电子工艺中的一个最大的问题——如何为Si逻辑（工艺）寻找一个“替代品”。此次会议上化合物半导体受到极大关注。

作者邓志杰（摘译）

出处《现代材料动态》 2008年第8期15-16,共2页 Information of Advanced Materials

关键词 CMOS工艺 Ⅲ-Ⅴ族化合物逻辑化合物半导体 IEDM 半导体工艺微电子工艺电子器件

分类号 TN929.11 [电子电信—通信与信息系统] TN304.23 [电子电信—物理电子学]

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现代材料动态

2008年第8期

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