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高纯芯片“防腐剂”将在哈尔滨实现国产化

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摘要日前，哈尔滨金烨创业投资中心与南京特种气体有限公司签约，在哈尔滨市建立基地，首次实现硅烷这种能够保证电子芯片、集成电路具有高防腐性电子气体的国产化。

出处《中国集成电路》 2008年第8期2-2,共1页 China lntegrated Circuit

关键词哈尔滨市电子芯片国产化防腐剂特种气体创业投资电子气体

分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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中国集成电路

2008年第8期

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