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红外膜层
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摘要
本文讨论生产红外膜层的工艺和方法.作红外膜层的锗、硫化锌、氟化钍和硒化锌等是主要介质材料,文中介绍了这些材料的性能,及它们的镀膜工艺.
作者
马天一
出处
《红外与激光技术》
CSCD
1990年第2期63-68,共6页
关键词
红外膜层
光学
工艺
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
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离子束辅助沉积(IAD)真空镀膜技术研究[J]
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3
杨伟声.
离子束辅助沉积(IAD)真空镀膜技术研究(续)[J]
.云光技术,2009,41(2):20-34.
红外与激光技术
1990年 第2期
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