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IBM、Toppan将光掩膜研发延伸到22nm

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摘要 IBM与日本凸版印刷(Toppan Printing)日前宣布达成新的光掩膜合作开发协议,并纳入22nm光掩膜工艺计划。
出处 《集成电路应用》 2008年第7期22-22,共1页 Application of IC
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