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用于多点高速测量的新型位置传感器

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摘要用于多点高速测量的新型位置传感器ＭｉｔｓｕｒｕＢａｂａ等１．引言在加工部件的自动检测及遥控观测等众多工业应用领域中，多点测量系统的作用日渐突出。由于这些应用中的测量时间通常很短，而且准确度要求也很高，因而急需开发一种高速位置传感器。采用ＣＣＤ（电荷耦...

作者吴鲲

出处《现代计量测试》 1997年第4期61-64,32,共5页 Modern Measurement and Test

关键词多点高速测量位置传感器位置测量法

分类号 TG806 [金属学及工艺—公差测量技术] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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现代计量测试

1997年第4期

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