基于薄膜形状控制的空气静压轴承研究

目前已经提出了一种主动式空气静压轴承,它具有一个可以用压电驱动器来改变形状的规则表面。普遍认为主动补偿方法是最有效的,其原因是小的驱动质量和大的承载力增益及带宽使这种主动式空气静压轴承具有无限大的静态刚度,并具有仅被支承机械系统所限制的补偿带宽。微位移测试表明,0.1μm的进给可以相当容易地被高速跟踪。