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引入平板系统对量块长度测量结果的影响 被引量:2

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摘要 以光谱辐射线的波长作为标准、以光波干涉条纹小数部分重合的原理设计的光波干涉仪、用直接测量的方法测量量块长度时,必须引入一系列大孔径(Φ≥50mm)的平板干涉系统。
出处 《计量技术》 北大核心 1997年第8期27-29,共3页 Measurement Technique
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