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引入平板系统对量块长度测量结果的影响
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摘要
以光谱辐射线的波长作为标准、以光波干涉条纹小数部分重合的原理设计的光波干涉仪、用直接测量的方法测量量块长度时,必须引入一系列大孔径(Φ≥50mm)的平板干涉系统。
作者
王承钢
边才长
机构地区
中国计量科学研究院
中国航空工业总公司
出处
《计量技术》
北大核心
1997年第8期27-29,共3页
Measurement Technique
关键词
大孔径平板
光学系统
量块测量
光波干涉条纹
分类号
TG812 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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计量技术
1997年 第8期
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