新型结构式加速度传感器

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摘要利用硅材料驻极体电容制成的结构式加速度传感器是一种针对结构分析、模态试验而设计的振动加速度传感器，其工作频率范围１Ｈｚ～１ｋＨｚ（幅值误差±１０％），加速度灵敏度＞５０ｍＶ／（ｍ／ｓ２），重量＜５ｇ。

作者谷毅

机构地区中国计量科学研究院

出处《计量技术》北大核心 1997年第9期19-20,共2页 Measurement Technique

关键词传感器硅材料驻极体电容加速度计

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计量技术

1997年第9期

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