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第七讲 : 真空检漏 被引量:5

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摘要 第七讲:真空检漏关奎之(东北大学)一、概述1.概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏,是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏,是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气...
作者 关奎之
机构地区 东北大学
出处 《真空》 CAS 北大核心 1997年第5期42-44,共3页 Vacuum
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