LCD黑矩阵的激光制造技术

本文提出了一种新型的LCD黑矩阵激光制造技术,设计了以高功率Q开关半导体泵浦的Nd∶YAG固体激光器为主体的激光系统,采用激光背照射喷水辅助的方法制作了黑矩阵样品,有效解决了图形精度和残留物的问题。激光技术与现有的光刻技术相比具有多方面的优越性,很有可能成为现有光刻工艺的取代者。