等离子体CVD装置
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1一弓.高密度等离子体绝缘膜CVD装置[J].等离子体应用技术快报,1998(1):7-8.
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2一弓.螺旋偏压CVD装置1—4100HBiC[J].等离子体应用技术快报,1996(1):11-11.
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3友达6代线试制出微晶硅TFT32in液晶面板[J].光机电信息,2008(6):66-66.
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4夏普和东京电子将成立太阳能电池生产设备合资公司[J].新材料产业,2008(3):83-83.
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5一弓.减压热CVD装置DSM9800[J].等离子体应用技术快报,1998(12):12-13.
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6AMAT发布用于BSI型CMOS传感器的CVD装置以及复检SEM[J].传感器世界,2011,17(12):34-34.
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7日开发出碳纳米管沿底板水平方向成膜的新技术[J].现代材料动态,2008(5).
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8AMEC发布新型蚀刻与CVD设备[J].集成电路应用,2008,25(1):14-14.
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9蒋晓彬.产综研开发出可降低SiC功率元件价格的高速CVD装置[J].轻型汽车技术,2008(10):26-26.
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10吕庆敖,邬钦崇.微波等离子体CVD装置中的微波模式转换器的模式研究[J].真空电子技术,1997,10(5):12-15. 被引量：1
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