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用离子轰击方法产生金属离子
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职称材料
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作者
普民
出处
《等离子体应用技术快报》
1997年第9期5-6,共2页
关键词
金属离子
离子轰击
薄膜沉积
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TB43 [一般工业技术]
等离子体应用技术快报
1997年 第9期
职称评审材料打包下载
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