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有辅助磁场的微波等离子体处理装置

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作者卫冰

出处《等离子体应用技术快报》 1997年第7期10-11,共2页

关键词半导体 ECR CVD 微波等离子体处理

分类号 TN015 [电子电信—物理电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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等离子体应用技术快报

1997年第7期

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