摘要
介绍一种能快速准确测定薄膜材料微观结构的新技术——能量过滤电子衍射分析法.该技术利用透射电子显微镜把选区衍射花样投到一个顺序电子能量损失谱仪的入口光阑上,让微机控制作品后偏转线圈使衍射花作顺序扫过光阑进入谱仪,检测弹性散射电子强度随散射矢量的径向分布,从而导出能显示近邻原子间距和配位数等结构信息的约化密度函数等.多晶金薄膜的实验结果显示,该技术测出的最近邻原子间距可精确到0.002nm,配位数的测定可精确到0.5.
出处
《理化检验（物理分册）》
CAS
1997年第9期28-29,34,共3页
Physical Testing and Chemical Analysis(Part A:Physical Testing)
