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透射电子显微镜高压电子枪的真空检漏

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摘要喷射氟里昂是真空检漏中一种简单而实用的方法.日本HITACHI透射电子显微镜经维修后,其高压电子枪的真空度达到1.33×10^(-3)Pa,灯丝的寿命超过70h,为HITACHI公司所给指标的两倍.

作者尤富强殷俊林

机构地区上海钢铁研究所研究中心

出处《理化检验（物理分册）》 CAS 1997年第7期34-34,36,共2页 Physical Testing and Chemical Analysis(Part A:Physical Testing)

关键词透射电子显微镜电子枪真空检漏

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学] TB774 [一般工业技术—真空技术]

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理化检验（物理分册）

1997年第7期

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