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沙伯创新塑料推出超纯复合材料
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摘要
沙伯基础创新塑料公司推出超纯透明Stat-Loy63000CT系列复合材料。这种复合材料可用于晶圆防护设备,防止因释气所造成的毁损及由此导致晶片污染、废料增加和成本提高等问题。
作者
钱伯章
机构地区
上海
出处
《合成材料老化与应用》
2008年第3期56-56,共1页
Synthetic Materials Aging and Application
关键词
复合材料
超纯
塑料
创新
防护设备
释气
分类号
TQ110.7 [化学工程—无机化工]
TB33 [一般工业技术—材料科学与工程]
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合成材料老化与应用
2008年 第3期
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