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2006—2012年厚SOI产品市场和制造商调查报告

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摘要 2012年MEMS产品需求将占厚SOI晶圆需求量的46%,全球市场份额超过1.15亿美元。2008年5月6日Yole Developpement项目经理菲利普·鲁赛尔博士在法国说,2012年MEMS产品将占全球市场厚SOI晶圆需求量的46%,约计超过1.15亿美元。
出处 《微纳电子技术》 CAS 2008年第8期495-496,共2页 Micronanoelectronic Technology
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