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584A投影曝光机的光学系统
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1
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摘要
介绍白俄罗斯Ｐｌａｎａｒ联合体生产的５８４Ａ投影曝光机的光学系统，剖析其工作原理，并对如何应用提出了建议。
作者
葛威
李毅杰
机构地区
电子工业部第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
1997年第4期27-34,60,共9页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
投影曝光机
光栅
光刻
光学系统
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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电子工业专用设备
1997年 第4期
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