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圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度分析 被引量:7

The Analysis of The Sensitivity and Linearity of Thin Film Pressure Transducers with The Structure of Circular Flat Diaphragm
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摘要 对圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度进行了比较详细地刨析。并通过计算,列举大量数据,指出影响压力传感器的线性度与灵敏度的因素及提高压力传感器的线性度与灵敏度的有效途径。 The sensitivity and linearity of pressure sensor for circular are analysed in detail,It was made on the basis of definition sensitivity and linearity of pressure resistance sensor,by the calculation ,the great quantity data have been given,The factors of influence the sensitivity and linearity of pressure sensor and the effect on increasing sensor sensitivity and linearity have been directed.
出处 《半导体杂志》 1997年第4期47-54,共8页
关键词 线性度 灵敏度 膜片 压力传感器 Sensitivity Linearity Diaphragm
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