摘要
介绍了一种新型低压压电陶瓷相移器及其驱动电路的原理、结构和标定方法，并简述了它在电子散斑干涉计量（ＥＳＰＩ）中的应用。
A novel low-voltage piezoelectric ceramic phase modulator and its driving circuit are introduced.The principle,structure and calibrating method are discussed and its application in ESPI is presented.
出处
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第5期331-335,共5页
Semiconductor Optoelectronics
基金
国家"产学研联合工程"科研基金
