用小型准分子激光器制造微型零件
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
1997年第10期28-31,共4页
Laser & Optoelectronics Progress
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1大舟.利用准分子激光器加工材料[J].光机情报,1989(12):9-11.
-
2杨妹清.利用准分子激光器进行微细加工的现状及展望[J].光机电信息,1996,13(8):21-23.
-
3王琦.日本激光加工机的发展趋势[J].机电国际市场,2000(5):12-12.
-
4小平.利用YAG准分子激光器进行微孔加工的现状[J].光机电信息,2001(5):17-19. 被引量:1
-
5孙宏建.用小型准分子激光器加工微型元件[J].激光集锦,1997,7(3):16-19.
-
6大舟.准分子激光器微细材料加工[J].光机电信息,1995(2):35-36.
-
7王政良,王仲,赵飞,李霞,张俊杰.一种微型零件的拼接方法[J].传感技术学报,2006,19(4):1246-1249.
-
8江超,王又青.KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究[J].电加工与模具,2003(2):33-35. 被引量:9
-
9计算机系统结构[J].中国学术期刊文摘,2008,14(18):209-211.
-
10杨妹清.利用准分子激光器对多层基板进行微细打孔的加工系统[J].光机电信息,1996,13(6):28-29.
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