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大气环境下STM金针尖场蒸发纳米书写实验研究 被引量:1

Nano\|lithography by Field Evaporation of Au Tip in The Configuration of STM in Atmosphere
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摘要 用金作STM针尖,通过一个窄脉冲电压(~4V,~300ns),可在原子平坦的Au表面稳定观察到原子堆的形成。用这种方法我们成功地进行了纳米书写。实验表明原子堆的形成存在一个很陡的阈值电场,而且正负电压脉冲皆可形成原子堆,我们初步认为它是一个场离子蒸发过程。 Atom mounds were formed by appling 4V,300ns voltage pulses on Au tip in scanning tunneling microscope (STM) in atomsphere.Each mound measures about 30 nm in diameter and 1\|2 nm in height.With the aid of this,we succeed in writing nanometer scale characters.There exists a narrow threshold field and we refer it a field evaporation process.Both positive and negative ions could be field evaporated.The re\|examination of charge\|exchange model for the field evaporation in STM and experiments on other metals will be published elsewhere.
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期787-788,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
基金 国家自然科学基金
关键词 STM 场蒸发 金针尖 纳米加工 纳米书写 )STM,,field evaporation,,nano\|lithography
  • 相关文献

参考文献1

  • 1李志扬,第六届全国场致发射及真空微电子学术讨论会论文集,1996年

同被引文献1

引证文献1

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