10^—9—10^—2Torr残气分析用的四极分析器微陈列

本文介绍了一种微型质谱计的设计、结构和特性，该质谱计由１６根圆杆微陈列成的９个四极质量分析器组成，用于残气分析。这种全新的设计由于减小了尺寸，从而缩短了路径与平均自由程之比＾＊，使动态范围在高压端扩展到１０＾－２Ｔｏｒｒ，时同保证了低压端的灵敏度和质量分辨率。该质谱计体积小、重量轻、低功耗、低成本，从而有很多的新作用，例如高压过程的实监控。