BTU国际推出Meridian在线扩散系统

BTU国际公司日前推出Meridian系列在线扩散设备。Meridian系列包括新的第二代喷涂系统，支持上面和下面磷喷涂功能，并带有石英线扩散炉。 这一新系列扩大了原来屡获大奖的平台，增加了下面喷涂功能，改善了电池效率。Meridian喷涂设备还采用集成设计，空间利用率高。与拥有石英线工艺舱的Meridian扩敞炉一样，喷涂系统采用耐腐蚀材料，使工艺污染的风险降到最小。