摘要
介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚度。采用表面微加工和微电铸工艺制作了器件。
This paper introduces a MEMS electromagnetic relay with small volume ana easy mtegratin. This relay includes two layers of 1 mm× 1 mm planar Cu coils, permalloy cantilever, and polyimide insula- tion layer. The working principle is introduced. Simulation has been performed to decide the gap width and cantilever thickness. The surface micromachining and microelectroplating method is used to fabricate the relay.
出处
《电子器件》
CAS
2008年第5期1533-1536,共4页
Chinese Journal of Electron Devices
基金
国家自然科学基金项目资助(50405013)
国家863计划项目资助(2006AA04Z360)
上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309)
微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C790301060C79)
