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降低应力开裂的新型FPA
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摘要
Dyneon PFA—FlexUHP是超高纯度PFA含氟聚合物的新增系列品种,设计用于半导体加工的管道系统。随着在这些应用中越来越多地采用含氟表面活性剂作为润湿剂,也就需要材料的耐环境应力开裂性能得到提高。
出处
《塑料加工》
2008年第3期28-28,共1页
关键词
应力开裂
FPA
含氟表面活性剂
含氟聚合物
半导体加工
超高纯度
管道系统
开裂性能
分类号
TQ325.12 [化学工程—合成树脂塑料工业]
TN215 [电子电信—物理电子学]
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塑料加工
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