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超精密测量技术动态
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摘要
始于60年代后期的超精加工技术,如今已在许多领域得以实用化;而超精密测量技术,则是评价超精加工技术的必不可少的手段。
作者
刘利
出处
《机电一体化》
1997年第5期11-13,共3页
Mechatronics
关键词
超精加工
超精密测量
表面粗糙率
三维测量
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
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机电一体化
1997年 第5期
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