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多晶硅生产技术及发展现状
被引量:
12
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摘要
硅材料是微电子工业和太阳能发电的基础材料。掌握高纯度多晶硅生产技术,探索太阳能级多晶硅生产的新工艺、新设备和新技术,实现高纯度多晶硅产品规模化生产是消除制约我国信息产业和太阳能光伏产业发展瓶颈的有效途径。
作者
樊舜尧
师文林
机构地区
潞安矿业集团公司
出处
《新材料产业》
2008年第10期22-26,共5页
Advanced Materials Industry
关键词
多晶硅
生产技术
集成电路产业
微电子工业
微电子产业
基础材料
太阳能发电
年增长率
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
F426.63 [经济管理—产业经济]
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