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多晶硅生产技术及发展现状 被引量:12

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摘要 硅材料是微电子工业和太阳能发电的基础材料。掌握高纯度多晶硅生产技术,探索太阳能级多晶硅生产的新工艺、新设备和新技术,实现高纯度多晶硅产品规模化生产是消除制约我国信息产业和太阳能光伏产业发展瓶颈的有效途径。
出处 《新材料产业》 2008年第10期22-26,共5页 Advanced Materials Industry
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