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如何通过高纯水提升多晶硅品质
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摘要
多晶硅的生产工序复杂,在多晶硅生产中,高纯水主要是用来清洗产品的,几乎每道工序都要使用高纯水,这样产品与水直接接触,使得加工过程中产生的微量污染得以洗净,所以,高纯水品质的好坏将对多晶硅质量起到重要影响。在此生产过程中,如果高纯水中含有微量杂质就有可能使产品再次受到污染,使成品率下降,由此看来,高品质的纯水对多晶硅生产就显得尤为重要。
作者
张瑞灵
机构地区
深圳恒通源水处理科技有限公司
出处
《新材料产业》
2008年第10期32-34,共3页
Advanced Materials Industry
关键词
高纯水
多晶硅
品质
水提
生产工序
直接接触
加工过程
生产过程
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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刘玮,曹杰玉.
提高电厂高纯水pH值测量准确度的研究[J]
.中国电力,2006,39(10):80-83.
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刘玮,曹杰玉.
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.热力发电,2005,34(8):15-18.
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王澄华.
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.日用化学品科学,1996,19(3):1-3.
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曹顺安,刘开培.
火电厂高纯水电导率的测量及智能工业电导仪的研制[J]
.锅炉压力容器安全技术,1995(4):13-17.
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.流程工业,2011(3):46-47.
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高纯水的电导率测量[J]
.自动化技术与应用,2011(2):115-115.
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王家松,汪晓.
污水提升泵变频调速非线性控制系统[J]
.电工技术,2000(6):28-28.
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何有良.
浅淡D-柠檬烯清洗剂的优势[J]
.中国设备工程,2016,0(6):83-84.
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王小平,张丽秋.
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新材料产业
2008年 第10期
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