摘要
针对双层和三层芯片三维(3D)组装进行工艺试验研究;介绍了研究的结果和分析结论;明确了基本的双层和三层芯片三维组装工艺方法和流程。
参考文献4
-
1王玉菡,曹全喜.3-D MCM封装技术及其应用[J].电子科技,2006,19(3):9-12. 被引量:3
-
2翁寿松.超薄叠层芯片尺寸封装(UT-SCSP)[J].电子与封装,2005,5(1):11-12. 被引量:4
-
3Bob Chylak,Ivy Wei Qin.叠层芯片应用的封装挑战与解决方法(英文)[J].电子工业专用设备,2004,33(3):35-41. 被引量:1
-
4郝旭丹,金娜,王明皓.三维封装叠层技术[J].微处理机,2001,22(4):16-18. 被引量:2
二级参考文献9
-
1郭大琪,华丞.CSP封装技术[J].电子与封装,2003,3(4):14-19. 被引量:9
-
2[1]Nobuaki Takahashi et al.Three-dimensional Memory Module.IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS,PACKAGING,AND MANUFACTURING TECHNO-LOGY,1998,PART B 21(1):15~19
-
3[2]Sienski K et al.3-D Electron Interconnect Packaging.Proc,1996 IEEE Aerosp Appl Conf Aspen,1996-01:363
-
4[3]Said F Al-sarawi.A Review of 3-D Packaging Technology.IEEE TRANSACTIONS ON COMPON-ENTS,PACKAGING,AND MANUFACTURING TECHNOLOGY,1998,PART B 21(1):2~14
-
5[1]Hyoung Soo Ko. Development of Three-dimensional Memory Die Stack Packages Using Polymer Insulated Sidewall Technique [J]. IEEE Transaction on Advanced Packaging, Vol. 23, No.2 May 2000, 252-256.
-
6[2]Flynn Carson. Stacked Die CSP Interconnect Challenges[M].K&S Advanced Technology Symposium, 2002.
-
7[3]Kazuto Nishida. Ultra-thin &High Technolog[M]. IMAPS 35th Intemational Symposium on Microelectronics, 2002, 366-371.
-
8张经国,杨邦朝.三维多芯片组件[J].电子元件与材料,1999,18(2):28-30. 被引量:5
-
9张蜀平,郑宏宇.电子封装技术的新进展[J].电子与封装,2004,4(1):3-9. 被引量:34
共引文献6
-
1缪彩琴,翁寿松.SIP和SOC[J].电子与封装,2005,5(8):9-12. 被引量:11
-
2翁寿松.3D封装的发展动态与前景[J].电子与封装,2006,6(1):8-11. 被引量:13
-
3翁寿松.堆叠封装的最新动态[J].电子与封装,2006,6(5):1-4. 被引量:3
-
4文鹏程,王向军.基于堆叠式组装技术的微小型多处理器系统[J].传感技术学报,2008,21(2):365-368.
-
5常乾,朱媛,曹玉媛,丁荣峥.夹层式叠层芯片引线键合技术及其可靠性[J].电子与封装,2017,17(2):4-8. 被引量:5
-
6赵昱萌,凡守涛,韩宇,王川.Ku波段功分放大3D-MCM设计[J].现代防御技术,2021,49(2):106-110.
-
1伍珊红,齐军,虞孝舜,方鸣岗.Nd:YAG激光打标工艺试验研究[J].激光与红外,1999,29(2):92-95. 被引量:12
-
2胥翔,杨薇琦.VPX连接器组装工艺技术研究[J].现代工业经济和信息化,2016,6(10):59-60. 被引量:1
-
3温汝贤.印刷电路板(PCB)组装工艺的选择[J].扬州科技,1995,3(2):42-44.
-
4周建良,余隶.NEC SX—3巨型机的组装工艺[J].电子计算机,1993(5):26-34.
-
5杨宇辰,李明初,董义.镀金印制板可焊性工艺试验研究[J].质量与可靠性,2016(1):20-22. 被引量:1
-
6张健,路学成,谢霞,温秉权.不同脉宽条件下离焦量对激光毛化微观形貌的影响规律研究[J].中国科技博览,2011(33):81-82. 被引量:1
-
7王治富,闫丽红,李丽芹.机器人在一汽的应用[J].金属加工(热加工),2009(12):10-13. 被引量:3
-
8吕勇,王佃利,盛国兴,蒋幼泉.Si腐蚀工艺的优化[J].固体电子学研究与进展,2014,34(2):197-200.
-
9冯玉萍.新型三维存储器技术特性与发展动向[J].今日电子,2003(2):31-32.
-
10高长水,刘正埙.单晶硅材料电火花加工试验研究[J].电加工与模具,2003(5):46-48. 被引量:11