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大面积光掩模的制造
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作者
Rect.,DE Boot.,MH
出处
《计算机与信息处理标准化》
1997年第3期58-58,57,共2页
关键词
光掩模
平板显示器
制造
显示器
分类号
TN873.91 [电子电信—信息与通信工程]
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二级引证文献
0
1
茅哲民.
日本网光掩模标准与应用[J]
.红讯半导体,1989(3):41-45.
2
白杉.
我国光掩模发展的过去和现状[J]
.中国集成电路,2004(1):65-66.
被引量:1
计算机与信息处理标准化
1997年 第3期
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