为保持领先地位KLA-Tencor检测设备增加die-to-database新功能

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摘要据EETimes网站报道，为保持领先地位，KLA．Tencor日前为其先进的掩模板检测系统增加了“芯片到数据库（die—to-database）”的功能。将此项功能添加到TeraScan系列掩模板检测设备上。其中，TeraScanHR是KLA—Tencor最先进的设备，能够应用于45nm量产及32nm研发中。

出处《电子工业专用设备》 2008年第10期69-69,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词检测设备 KLA DIE 检测系统功能添加掩模板数据库网站

分类号 TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] U472.9 [机械工程—车辆工程]

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