KLA-TENCOR推出磁盘驱动器基片和盘片缺陷检查的新技术

KLA-Tencor公司针对硬盘驱动器基片与盘片高级缺陷检查推出了Candela7100系列。7100系列建立在备受肯定且已量产化的Candela产品线基础上，专为帮助制造商识别与分类诸如凹陷、凸起、微粒及隐藏缺陷等亚微米级关键缺陷而设计，可以提升良率，降低检测的总成本。