用于大规模生产的镜头波前快速分析技术

基于Shack-Hartmann波前传感器的波前测试分析系统可以对球面或非球面透镜的波前进行全方位的实时测试分析,具有高速度、高精度和高动态范围的优点,对晶圆上透镜的检测时间可以达到3s以下,非常适合大批量生产的微透镜的在线检测。