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制造集成电路用的化学品(上)

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摘要三、掺杂用化学品集成电路制造中,将元素周期表中ⅢA族杂质原子掺入硅片表面就形成P型(受主型)导电层,将V A族杂质原子掺入硅片表面层就形成N型(施主型)导电层。(一)硼(P型)杂质源1.三氧化二硼无色透明粉末,硬而脆,熔点450℃,沸点1500℃以上。

作者乔冠儒

机构地区东南大学化学化工系

出处《化工时刊》 CAS 1990年第9期43-48,共6页 Chemical Industry Times

关键词集成电路化学品

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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化工时刊

1990年第9期

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