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H-600Ⅱ型电子显微镜循环水监测电路的故障排除
被引量:
1
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摘要
日立H—600Ⅱ型电子显微镜循环冷却水用于电磁透镜、热电源箱及扩散泵。一般要求冷却水满足下列条件: 流量:4~5升/分水温:10~25℃水压:0.5~2.0 kg/cm^2 扩散泵必需依靠冷却水工作,否则,油蒸气很快从扩散泵中挥发掉并严重污染扩散泵,为此。
作者
杨运经
曹民发
杨学昆
胡建民
机构地区
陕西农科院测试中心
出处
《分析仪器》
CAS
1989年第1期57-58,共2页
Analytical Instrumentation
关键词
电子显微镜
循环水
监测电路
故障
分类号
TN153 [电子电信—物理电子学]
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分析仪器
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