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H-600Ⅱ型电子显微镜循环水监测电路的故障排除 被引量:1

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摘要 日立H—600Ⅱ型电子显微镜循环冷却水用于电磁透镜、热电源箱及扩散泵。一般要求冷却水满足下列条件: 流量:4~5升/分水温:10~25℃水压:0.5~2.0 kg/cm^2 扩散泵必需依靠冷却水工作,否则,油蒸气很快从扩散泵中挥发掉并严重污染扩散泵,为此。
出处 《分析仪器》 CAS 1989年第1期57-58,共2页 Analytical Instrumentation
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