以Actel混合信号Fusion为基础的无线扩散炉温度自动监控系统

Wireless Temperature Automatic Control System for High-Temperature Diffusion Furnace Using Mixing Fusion Chip of Actel

设计目标是对双管扩散炉温控部分进行改造,实现数字式自动控制,以提高炉温控制的精度,提高工艺生产线样片的成品率,同时降低能耗。系统的硬件控制部分包括Actel公司的fusion开发板,温度采集电路板,键盘,传感器和小型高温炉等。软件用C语言编程,采用增量式PID算法完成各路温度的自动控制。通过ZigBee协议实现远程计算机无线监控,将现场的数据输出到计算机可视化的界面,实现现场数据的远程监测。