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反溅射再淀积现象的探讨

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摘要 本文通过对不同条件下双层金属通孔电阻的测试,验证了反溅射再淀积现象的存在,并通过对比实验,分析了影响再淀积的因素和其对电路可靠性的影响。
出处 《微电子技术》 1997年第5期57-59,共3页 Microelectronic Technology
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