罗门哈斯公司依靠能够减少缺陷和研磨液用量的化学机械研磨垫表面沟槽设计,大力拉动市场需求

罗门哈斯电子材料公司（ROH：Rohm and Haas Electronic Materials）宣布．其新型化学机械研磨垫表面沟槽设计能够减少缺陷和研磨液的用量．现已迅速得到全球各地市场的认可。全球各地的客户现在开始采用这些能显著地改善工艺性能的新型表面沟槽设计．以降低缺陷．延长研磨垫的使用寿命，减少化学机械研磨易耗品的总体成本。