基于椭偏法的薄膜光学特性的测量——消光法在椭偏法中的应用

文章首先说明了薄膜光学特性的测量在实际应用中的重要性,然后提出薄膜光学特性测量的方法——椭圆偏振法,详细推导了在用消光法计算薄膜光学特性时各参量的计算公式,并对其进行了一定的简化,使其更容易满足实际应用的要求。最后进一步分析了在实际应用中薄膜厚度和折射率的测量与计算方法。