电子级氯化氢气体研制的进展

Recent development in preparation of gaseous hydrogen chloride of electronic grade

新型材料,其中包括高纯化学试剂和高纯化学气体等,被视为是近代新技术革命的重要标志之一。例如高纯氯化氢气体就是电子工业中用量较大的一种化学气体。英、美、德、法、日等国均有电子级氯化氢气体商品出售,但对其提纯技术和分离方法极少见有文献报道。近年来,我国电子工业所需的化学气体的研制,在技术上已有不少突破和发展。