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SEMI发布半导体制造5项新标准

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摘要 SEMI日前发布了五项新的半导体制造技术标准。这些标准由来自设备与材料供应商、器件制造商以及其他参与SEMI国际标准项目厂商的技术专家们开发制定。
出处 《世界电子元器件》 2008年第11期10-10,共1页 Global Electronics China
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