摘要
为了提高产品的生产率和利润,近年来晶圆面积不断扩大,大约每10年升级一次。1991年业界开始投产200mm晶圆,2001年起步向300mm晶圆过渡,依次类推,ITRS(国际半导体技术发展路线图)和摩尔定律都认为,2012年是向走向450mm晶圆的元年。的确,少数巨型企业如Intel、三星和台积电表示了肯定的态度,为2012年过渡到450mm而做着准备,与制造设备、材料厂商开展协商以便供应设备和材料,同时进行有关标准化方面的工作。
出处
《电子产品世界》
2008年第12期6-7,共2页
Electronic Engineering & Product World