衬底温度对激光脉冲沉积氧化锌薄膜结构及发光性能的影响

Effects of Substrate Temperature on Structural and Photoluminescence Properties of ZnO Films by Pulsed Laser Deposition

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摘要在单晶硅衬底上用激光脉冲沉积方法制备了氧化锌薄膜,研究了衬底温度对薄膜结构、形貌和发光性能的影响. ZnO films were prepared by pulsed laser deposition on crystal silicon substrate. The effects of substrate temperature on structural and photoluminescence properties of ZnO films were studied.

作者李少兰

机构地区鲁东大学学报编辑部

出处《吉林师范大学学报（自然科学版）》 2008年第4期44-46,共3页 Journal of Jilin Normal University:Natural Science Edition

基金山东省自然科学基金项目(Y2002A09)

关键词脉冲激光沉积氧化锌薄膜光致发光 pulsed laser deposition ZnO film photoluminescence

分类号 O472.3 [理学—半导体物理]

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