Aviza推出全球第一台12英寸晶圆级离子束沉积系统StratIon fxP.

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摘要 Aviza Technology宣布推出全球第一台12英寸晶圆级离子束沉积系统。第一台系统已出货至法国格勒诺伯市的欧洲领先电子学及自旋电子学应用研究中心CEA—LETI—MINATEC。Stratlon fxP将用于研发次世代磁控穿隧接合面（MTJ）的装置，以应用在包括磁阻式随机存取内存（MRAM）、硬盘驱动读写头或RF组件。

出处《电子与电脑》 2008年第12期65-65,共1页 Compotech

关键词 12英寸晶圆沉积系统离子束 FXP 自旋电子学随机存取内存 CEA 接合面

分类号 TP393.093 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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Aviza推出全球第一台12英寸晶圆级离子束沉积系统StratIon fxP.

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