人造金刚石低压气相生长的热力学研究

用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在CH_4/H_2和C_2H_2/O_2气相体系中的生长,计算了不同压力下这两种体系生长金刚石的相图。与用经典的平衡热力学理论计算的相图不同,得到的相图都有金刚石生长区。该生长区的存在是体系中超平衡氢原子或超平衡氧原子对金刚石生长过程作用结果。利用本文的相图可从很好地解释低压下金刚石在CH_4/H_2和C_2H_2/O_2气体中的生长。另外,从理论上得到的金刚石生长区与报道的实验结果基本相符,因而可用于指导金刚石气相生长的实验研究。