摘要
不久前,Novellus System的CEO Rick Hill拜访了韩国海力士半导体的M11 fab,他惊讶于该fab的巨大规模,同时也很满意地得知八十亿美元的设备采购预算。在未来几年内,将会兴建几个生产规模达到每月150,000~200,000片晶圆(wspm)的fab,主要针对NAND型闪存在固态硬盘(SSD)领域潜在的巨大市场。Hynix Mll fab为两层200米×80米的厂房,计划产能为300,000 wspm。
出处
《集成电路应用》
2008年第10期25-25,共1页
Application of IC