控片检测系统SURFSCAN SP2XP

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摘要 KLA-Tencor 公司Surfscan SP2^XP是一套专供集成电路（IC）市场采用的全新控片检测系统,该系统对硅、多晶硅和金属薄膜上的缺陷灵敏度更高,在按缺陷类型和大小来分类方面具有更强能力。其特性还包括真空承载装置和业界最佳的生产能力。新系统还提供了超高灵敏度操作模式，可加快晶片厂对3Xnm和2Xnm下一代元件的开发。改善了光学机械和信号处理的设计，

出处《集成电路应用》 2008年第10期45-45,共1页 Application of IC

关键词检测系统超高灵敏度缺陷类型生产能力集成电路金属薄膜操作模式信号处理

分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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集成电路应用

2008年第10期

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