期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
等离子消除系统
下载PDF
职称材料
导出
摘要
Sirius 6000系统专为应对介质和多晶硅刻蚀工艺后的“温室”气体排放的挑战而设计。系统在严格控制的化学环境中采用高能效的微波等离子体,
出处
《集成电路应用》
2008年第10期45-45,共1页
Application of IC
关键词
6000系统
微波等离子体
气体排放
刻蚀工艺
化学环境
多晶硅
分类号
TN405.983 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TS805.4 [轻工技术与工程]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
卢兆明.
道路车辆-电气和电子装备的环境条件和试验第5部分:化学环境(ISO16750.5)[J]
.环境技术,2007,25(5):45-47.
被引量:2
2
手机新型充电器将适用于任何款手机[J]
.通信电源技术,2009,26(6):59-59.
3
涂兰敬.
视频系统系统成就“绿色环保”[J]
.软件世界,2008(10):50-51.
4
徐焕翔,蔡颖颖.
连接器塑封材料的失效原因分析[J]
.电子工艺技术,2016,37(2):96-98.
被引量:2
5
ST-Ericsson推出创新的移动设备充电解决方案[J]
.现代电视技术,2011(4):156-156.
6
ST-Ericsson推出创新的移动设备充电解决方案[J]
.电子与电脑,2011(4):91-91.
7
ST-Ericsson创新移动设备充电解决方案[J]
.汽车制造业,2011(8):10-10.
8
崔英敏,吕刚.
液晶的历史[J]
.现代物理知识,2006,18(3):3-6.
被引量:3
9
Pieder Jǒrg Gerald Scheuer Per Wikstrǒm.
追求更高的能源效率——中压五电平变频器[J]
.自动化信息,2008(7):83-85.
10
赵义,王杨子,杨宏业.
浅析绿色通信节能技术[J]
.信息通信,2016,29(5):254-255.
集成电路应用
2008年 第10期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部